完工日期 工程業主 機種及規格 馬力HP 性能 數量 備註
風量CMM 靜壓mmAq
110 12

聯電 12A-P6

TB-3½#

20

71

325

3

脫附風機 #2

12

聯電 12A-P6

TB-5#

50

109

1200

3

脫附風機 #1

12

聯電 12A-P6

AFO-S 11½#

150

2000

200

3

二次側風機

12

國巨

TB-5#

40

108

988

1

脫附風機

12

國巨

TF-9#

100

1023

239

1

二次側風機

12

長庚國際

AFO-S11½#

125

2435

150

1

製程系統風機

12

長庚國際

AFO-S10½#

100

2015

150

1

製程系統風機

11

聯茂電子

TB-5#

40

68

1220

1

脫附風機

11

聯茂電子

TF-9#

250

1376

536

1

製程系統風機

11

台積電 18-P6

TB-3½#

20

82

325

6

脫附風機 #2

11

台積電 18-P6

TB-5½#

75

128

1138

6

脫附風機 #1

11

台積電 18-P6

AFO-S 12#

175

2500

200

6

二次側風機

10

瑞新企業

TF-5½#

150

79

1

熱回收風機

10

瑞新企業

TB-5½#

30

53

1193

1

助燃風機

10

瑞新企業

TF-8#

150

510

817

1

脫附系統風機

10

瑞新企業

AFO-S11#

150

2338

170

1

二次側系統風機

9

台積電 AP-6A

TB-3#

20

94

404

3

脫附風機 #2

9

台積電 AP-6A

TB-4½#

40

99

870

3

脫附風機 #1

9

台積電 AP-6A

AFO-S 9½#

125

1667

200

3

二次側風機

5

華新科技

TB-4½#

40

100

910

2

脫附風機

5

華新科技

AFO-S 9#

100

1200

200

1

一次側風機

5

華新科技

AFO-S 8#

50

900

150

1

二次側風機

3

采鈺

TB-5#

40

110

985

3

脫附風機

3

采鈺

TB-4½#

30

72

1000

1

脫附風機

3

采鈺

AFO-S 7½#

50

933

150

1

二次側風機

3

采鈺

AFO-S 9#

100

933

290

1

一次側風機

2

台積電 18-P5

TB-3½#

20

82

325

6

脫附風機 #2

2

台積電 18-P5

TB-5½#

75

128

1138

6

脫附風機 #1

2

台積電 18-P5

AFO-S 12#

175

2500

200

6

二次側風機

109 12

台積電 AP-2C

TB-4½#

30

82

861

3

脫附風機

12

台積電 AP-2C

AFO-S 8#

60

1090

150

3

二次側風機

10

台積電 18-P2

TB-3½#

25

141

376

1

脫附風機 #2

10

台積電 18-P2

TB-4½#

60

165

799

1

脫附風機 #1

10

台積電 18-P2

AFO-S 12#

175

2500

200

1

二次側風機

10

台積電 15-P6

TB-5#

50

109

1200

1

脫附風車

10

台積電 15-P6

AFO-S 11#

75

1639

132

1

二次側風機

7

聯電 12A2(P3&P4)

TB-3½#

10

90

234

1

脫附風機 #2

7

聯電 12A2(P3&P4)

TB-5#

40

105

900

1

脫附風機 #1

7

聯電 12A2(P3&P4)

AFO-S 9½#

125

1584

253

1

二次側風機

7

聯電 12A1(P1&P2)

TB-4½#

40

95

844

1

脫附風機

7

聯電 12A1(P1&P2)

AFO-S 9#

100

1500

187

1

二次側風機

7

台積電 18-P4

TB-3½#

20

82

325

7

脫附風機 #2

7

台積電 18-P4

TB-5½#

75

128

1138

7

脫附風機 #1

7

台積電 18-P4

AFO-S 12#

175

2500

200

7

二次側風機

7

台積電 12-P7

TB-5#

50

109

1200

1

脫附風機

7

台積電 12-P7

AFO-S 11#

75

1639

132

1

二次側風機

5

台積電 F8 廠

TB-5#

50

95

1200

1

脫附風機

5

台積電 F8 廠

AFO-S 9#

75

1353

150

1

二次側風機

5

台積電 F8 廠

AFO-S 9#

75

1333

153

2

一次側風機

5

台積電 18-P3

TB-3½#

20

82

325

6

脫附風機 #2

5

台積電 18-P3

TB-5½#

75

128

1138

6

脫附風機 #1

5

台積電 18-P3

AFO-S 12#

175

2500

200

6

二次側風機

4

台灣美光

TB-4½#

60

218

801

14

脫附風機

4

台灣美光

AFO-S 9½#

75

1424

150

7

二次側風機

4

台積電 16-P1

TF-5#

50

109

1200

1

脫附風機

4

台積電 16-P1

AFO-S 11#

75

1639

132

1

二次側風機

2

優乃克

TF-4½#

20

50

767

1

脫附風機

2

優乃克

AFO-S 8#

75

915

272

1

二次側風機