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|
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|
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| 完工日期 |
工程業主 |
機種及規格 |
馬力HP |
性能 |
數量 |
備註 |
| 年 |
月 |
風量CMM |
靜壓mmAq |
| 112 |
2 |
台積電 AP-6B
|
AFO-S 12#
|
175
|
2500
|
200
|
6 |
二次側風機
|
| 2 |
台積電 AP-6B
|
TB-5½#
|
75
|
161
|
1104
|
6 |
脫附風機 #1
|
| 2 |
台積電 AP-6B
|
TB-3½#
|
25
|
141
|
376
|
6 |
脫附風機 #2
|
| 111 |
10 |
聯茂電子
|
TF-7#
|
60
|
330
|
470
|
1 |
製程系統風機
|
| 10 |
國巨
|
TF-4½#
|
10
|
240
|
110
|
2 |
製程系統風機
|
| 10 |
國巨
|
TF-4½#
|
10
|
252
|
105
|
2 |
製程系統風機
|
| 10 |
國巨
|
AFO-S 9½#
|
75
|
1560
|
126
|
5 |
製程系統風機
|
| 10 |
國巨
|
AFO-S 8½#
|
60
|
1160
|
137
|
2 |
製程系統風機
|
| 10 |
國巨
|
TB-5½#
|
125
|
287
|
1100
|
4 |
脫附風機
|
| 10 |
國巨
|
AFO-S 12#
|
150
|
2300
|
200
|
4 |
二次側風機
|
| 10 |
國巨
|
AFO-S 12#
|
125
|
2300
|
150
|
4 |
一次側風機
|
| 10 |
旺秉豐
|
TF-3#
|
2
|
53
|
64
|
1 |
製程系統風機
|
| 10 |
旺秉豐
|
TF-6#
|
50
|
370
|
310
|
1 |
製程系統風機
|
| 10 |
旺秉豐
|
TB-5½#
|
125
|
207
|
1376
|
1 |
製程系統風機
|
| 10 |
旺秉豐
|
TF-9#
|
100
|
1366
|
164
|
1 |
製程系統風機
|
| 10 |
旺秉豐
|
TF-9#
|
100
|
1359
|
195
|
1 |
製程系統風機
|
| 6 |
南良
|
TF-5#
|
15
|
391
|
74
|
1 |
中繼風機
|
| 6 |
南良
|
TF-8#
|
100
|
384
|
729
|
1 |
燃燒風機
|
| 6 |
台積電 14-P8
|
TB-5#
|
50
|
102
|
1200
|
5 |
脫附風機
|
| 6 |
台積電 14-P8
|
AFO-S 9#
|
100
|
1695
|
131
|
5 |
二次側風機
|
| 4 |
台積電 18-P8
|
TB-3½#
|
20
|
82
|
325
|
6 |
脫附風機 #2
|
| 4 |
台積電 18-P8
|
TB-5½#
|
75
|
128
|
1138
|
6 |
脫附風機 #1
|
| 4 |
台積電 18-P8
|
AFO-S 12#
|
175
|
2500
|
200
|
6 |
二次側風機
|
| 4 |
台積電 18-P7
|
TB-3½#
|
20
|
82
|
325
|
6 |
脫附風機 #2
|
| 4 |
台積電 18-P7
|
TB-5½#
|
75
|
128
|
1138
|
6 |
脫附風機 #1
|
| 4 |
台積電 18-P7
|
AFO-S 12#
|
175
|
2500
|
200
|
6 |
二次側風機
|
| 2 |
台積電 15-P5
|
TF-2½#
|
3
|
37
|
155
|
4 |
冷卻用風機
|
| 2 |
台積電 15-P5
|
AFO-S 8#
|
60
|
1000
|
165
|
2 |
外氣風機
|
| 2 |
台積電 15-P5
|
TB-5#
|
10
|
10
|
1250
|
2 |
助燃風機
|
| 2 |
台積電 15-P5
|
TB-4½#
|
15
|
27
|
862
|
2 |
掃氣風機
|
| 2 |
台積電 15-P5
|
TB-5½#
|
100
|
250
|
1014
|
2 |
二次側風機
|
|
|
|
 |
|
|
