完工日期 工程業主 機種及規格 馬力HP 性能 數量 備註
風量CMM 靜壓mmAq
112 2

台積電 AP-6B

AFO-S 12#

175

2500

200

6

二次側風機

2

台積電 AP-6B

TB-5½#

75

161

1104

6

脫附風機 #1

2

台積電 AP-6B

TB-3½#

25

141

376

6

脫附風機 #2

111 10

聯茂電子

TF-7#

60

330

470

1

製程系統風機

10

國巨

TF-4½#

10

240

110

2

製程系統風機

10

國巨

TF-4½#

10

252

105

2

製程系統風機

10

國巨

AFO-S 9½#

75

1560

126

5

製程系統風機

10

國巨

AFO-S 8½#

60

1160

137

2

製程系統風機

10

國巨

TB-5½#

125

287

1100

4

脫附風機

10

國巨

AFO-S 12#

150

2300

200

4

二次側風機

10

國巨

AFO-S 12#

125

2300

150

4

一次側風機

10

旺秉豐

TF-3#

2

53

64

1

製程系統風機

10

旺秉豐

TF-6#

50

370

310

1

製程系統風機

10

旺秉豐

TB-5½#

125

207

1376

1

製程系統風機

10

旺秉豐

TF-9#

100

1366

164

1

製程系統風機

10

旺秉豐

TF-9#

100

1359

195

1

製程系統風機

6

南良

TF-5#

15

391

74

1

中繼風機

6

南良

TF-8#

100

384

729

1

燃燒風機

6

台積電 14-P8

TB-5#

50

102

1200

5

脫附風機

6

台積電 14-P8

AFO-S 9#

100

1695

131

5

二次側風機

4

台積電 18-P8

TB-3½#

20

82

325

6

脫附風機 #2

4

台積電 18-P8

TB-5½#

75

128

1138

6

脫附風機 #1

4

台積電 18-P8

AFO-S 12#

175

2500

200

6

二次側風機

4

台積電 18-P7

TB-3½#

20

82

325

6

脫附風機 #2

4

台積電 18-P7

TB-5½#

75

128

1138

6

脫附風機 #1

4

台積電 18-P7

AFO-S 12#

175

2500

200

6

二次側風機

2

台積電 15-P5

TF-2½#

3

37

155

4

冷卻用風機

2

台積電 15-P5

AFO-S 8#

60

1000

165

2

外氣風機

2

台積電 15-P5

TB-5#

10

10

1250

2

助燃風機

2

台積電 15-P5

TB-4½#

15

27

862

2

掃氣風機

2

台積電 15-P5

TB-5½#

100

250

1014

2

二次側風機