廢氣處理塔之基本原理是使廢氣與水或添加化學物質之水溶液接觸將廢氣經接觸傳入水中。充填材造成相當大的接觸面積，供氣相及液相間之物質傳導。廢氣由處理塔底部進入，首先遭遇經過充填層流下之溶液完成初洗，水溶液是由泵浦打進塔頂，平均散佈於充填表面，由充填表面造成之液膜完成主要之收集工作。最後氣體流經除霧段阻隔並收集霧氣後將氣體排入大氣中。

一般傳統工業，熱處理業，電子工業，半導體，金屬工業，拋光研磨，化學工業，食品工業

1. 可溶性氣體 2. 液體微粒 3. 固體粒狀物 4. 臭氣

1. 洗滌塔本身 2. 循環水槽 3. 廢氣入口 4. 廢氣出口 5. 除霧層 6. 充填層
7. 除霧層入，出料口 8. 充填層入，出料口 9. 噴霧系統及檢視窗
10. 除霧層及除霧層故撐 11. 洗滌液循環泵浦 12. 循環水管

1. 液位計(兩點，三點或四點)  2. 流量計 3. 自動加藥系統(加藥泵浦及藥液儲槽) 4. PH&ORP控制系統 5. 備用風車及循環泵浦 6. 變頻啟動系統